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前言 在半導體邁向埃米(Angstrom)世代的今天,超高真空艙體內的精密定位面臨著嚴峻挑戰。傳統光學編碼器在超高真空(UHV)環境中,常因黏著劑釋氣(Outgassing)、光學頭過熱或光纖穿牆(Feedthrough)的複雜性而成為系統瓶頸。 Netzer Precision 打造的 VLS 系列(Space-Grade),本是為了衛星與太空望遠鏡設計,如今也成為半導體超高真空設備的理想方案。本文將探討 VLS 如何成為半導體真空應用編碼器的最佳解決方案。 ✅ TML < 1%, CVCM < 0.1% 低釋氣標準:保護您的晶圓不受分子汙染。 ✅ 耐高溫烘烤 (Bake-out Ready):125°C的耐溫能力能承受真空除氣的高溫循環。 ✅ 無玻璃、無軸承:消除微粒產生 (Particulates) 的風險。 ✅ 超薄中空設計:直接整合於關節或轉台,節省真空容積。 ✅ 抗EMI, RFI、磁場干擾:特殊的電子式平均讀取技術,且本身非磁性。 ✅ 絕佳性能:提供高達 23 bit 的解析度,且精度可達 <0.006° 1. 極致的低釋氣率 (Low Outgassing) —— 晶圓良率的守護者在真空艙體中,任何非金屬材料的揮發分子都可能汙染晶圓或光學鏡片
2. 耐受高溫烘烤 (Bake-out) 與極端溫差真空艙體為了達到 UHV 狀態,常需進行高溫烘烤(Bake-out)以去除水氣
3. 非磁性與抗干擾 (Non-Magnetic & EMI Immunity)在電子束微影(E-Beam Lithography)或電子顯微鏡(SEM)設備中,解決磁場干擾
4. 體積與穿牆設計 (SWaP & Feedthrough)
結論 Netzer VLS 系列首先向業界展示了「太空規格」編碼器的標準品並非遙不可及,如今更成為解決半導體高端製程痛點的關鍵感測器。無玻璃、低釋氣、耐烘烤、高精度,VLS 讓設備工程師不再需要在「精度」與「可靠性」之間妥協。 點此了解更多 從 -55°C 到 +125°C,精準始終如一在嚴苛環境的應用中,感測器的穩定性決定了系統的生死。Netzer 隆重推出全新 VLT 系列旋轉位置編碼器,在保留廣受市場肯定的 VLP (Very Low Profile) 系列超薄、輕量化規格的基礎上,提供耐高溫、耐低溫的操作溫度: -55°C 至 +125°C。 產品亮點:為何 VLT 是嚴苛環境的首選?
點此了解更多 【專題討論】電子式編碼器 - 超越光學:次世代編碼器技術 Moving Beyond Optical: The Next Generation of Encoder Technology12/2/2025
前言 在精密運動控制領域(Motion Control),位置回授元件是決定系統性能的關鍵。長期以來,高階光學式編碼器(Optical Encoders)憑藉其卓越的精度和解析度,一直是半導體設備、精密工具機及測量儀器的首選。然而,隨著機器人技術、航太以及惡劣工業環境應用的需求增加,傳統光學編碼器在體積、重量以及環境耐受性上的物理限制逐漸顯現。Netzer Precision Motion Sensors 開發的 Electric Encoder™ 電子式編碼器,作為一種新興的高階位置感測方案,正逐漸改變市場格局。本專題將深入探討 Netzer VLZ 編碼器相較於傳統高階光學編碼器的具體優勢。 1. 技術原理簡述
2. 深度比較分析 (1) 環境規格與耐受性 (Environmental Robustness)這是 Netzer Electric Encoder™ 最顯著的優勢戰場。
超高精度VLZ 系列 | 精度達 0.001° = 3.6 arcsecVLZ – 突破界限,重新定義 VLZ 正改寫高階編碼器的業界標準 —— 以非接觸式運作實現前所未有的 1 毫度(1-milli-degree)超高精度,徹底擺脫傳統光學技術的枷鎖。 專為極限挑戰而生,VLZ 在其他產品無法立足之處展現強大性能。它摒棄光學元件,卻提供無可比擬的靈敏度,並對磁場與電磁干擾(EMI)具備卓越的抗性,確保在最嚴苛的環境中依然堅固耐用。安裝過程更是輕而易舉,VLZ 讓高精度定位技術不再遙不可及。 了解更多 Embark on your next LEO project with the unparalleled Netzer VLS product line – the only space-proven COTS solutions engineered for excellence, with affordable prices.
Our VLS series is designed to elevate your project, featuring compact dimensions, minimal weight, and the signature Netzer hollow shaft for unmatched precision. These characteristics are not just benefits; they’re essentials for the demands of space exploration. With a legacy of transforming commercially available components and conventional encoders for the cosmos Netzer has accumulated a unique expertise through numerous successful missions. Our commitment to innovation means the VLS range meets the rigorous demands of TID (Total Ionizing Dose) and minimal outgassing – key factors for thriving in the harsh environment of space. Features
Nezter 最新的兩片式電子絕對型編碼器 VLP 系列迎來最新成員: VLP-25。外徑來到全系列最小的 25 mm,內徑為 2.2 mm,重量僅 8 公克的同時,仍然達到 ±0.035° 的位置精度,環境規格也維持系列同樣的標準,提供您在設計系統時將機構縮減至最小的可能。
Netzer Electric Encoder™ VLP (Very Low Profile) 系列發表全新尺寸,使得此系列尺寸選擇更加完備。外徑從60, 80, 100, 140, 170至247mm,提供您不同應用場景的選擇。規格方面,除了 VLP-60提供 ±0.010°的精度,其餘 VLP-80 至 VLP-247 皆提供 ±0.006° 之精度。此外,VLP系列兩片式相對於DS系列三片式除了更加精簡的機械形式外,在環境規格方面亦有所提升。操作溫度範圍提升至-40°C to +105°C,EMC 相容於 MIL-STD-461G RE102 / RS 103,耐衝擊通過了100g 6msec saw-tooth per IEC 60068-2-27:2009 與 40g 11msec saw-tooth per MIL-810G,耐震動則通過 7.7grms @ 20 to 2000 Hz per MIL-810G Category 24,提供您的應用面對更加極端的場域。
Netzer Precision Position Sensors is pleased to introduce the VLP (Very Low Profile) line of absolute position rotary encoders for harsh environments.
Designed for exposure to the extreme conditions that are prevalent in the Aerospace and Harsh Environment industries, the VLP-60 and VLP-100 encoders provide unparalleled performance while offering high levels of immunity to shocks, vibration, humidity, and extreme temperatures, and can withstand high levels of EMI and RFI interference. 更多詳細資訊,請點擊此連結 |
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